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高頻壓力傳感器的精度會受哪些因素影響?

2022年07月25日 2493

高頻壓力傳感器一般是利用半導(dǎo)體硅極高的楊氏彈性模量和優(yōu)良的力學(xué)特性制成,使傳感器具有很高的固有頻率,結(jié)合內(nèi)外部結(jié)構(gòu)設(shè)計,減小了頻率損耗。從而獲得很高的響應(yīng)頻率和上升時間,是測量高頻動態(tài)壓力的理想產(chǎn)品。

 高頻壓力傳感器的精度會受哪些因素影響?

在選擇高頻壓力傳感器的時候我們要考慮它的綜合精度,而壓力傳感器的精度受哪些方面的影響呢?其實造成傳感器誤差的因素有很多,下面我們注意說四個無法避免的誤差,這是傳感器的初始誤差。

 

首先的偏移量誤差:由于高頻壓力傳感器在整個壓力范圍內(nèi)垂直偏移保持恒定,因此變換器擴(kuò)散和激光調(diào)節(jié)修正的變化將產(chǎn)生偏移量誤差。

 

其次是靈敏度誤差:產(chǎn)生誤差大小與壓力成正比。如果設(shè)備的靈敏度高于典型值,靈敏度誤差將是壓力的遞增函數(shù)。如果靈敏度低于典型值,那么靈敏度誤差將是壓力的遞減函數(shù)。該誤差的產(chǎn)生原因在于擴(kuò)散過程的變化。

 

第三是線性誤差:這是一個對高頻壓力傳感器初始誤差影響較小的因素,該誤差的產(chǎn)生原因在于硅片的物理非線性,但對于帶放大器的傳感器,還應(yīng)包括放大器的非線性。線性誤差曲線可以是凹形曲線,也可以是凸形曲線稱重傳感器。

 

最后是滯后誤差:在大多數(shù)情形中,壓力傳感器的滯后誤差完全可以忽略不計,因為硅片具有很高的機(jī)械剛度。一般只需在壓力變化很大的情形中考慮滯后誤差。

 

高頻壓力傳感器的這個四個誤差是無法避免的,我們只能選擇高精度的生產(chǎn)設(shè)備,利用最新技術(shù)來降低這些誤差,還可以在出廠的時候進(jìn)行一定的誤差校準(zhǔn),盡最大的可能來降低誤差以滿足客戶的需要。

 

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